XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm為二維X軸及Z軸運動壓電平移臺，采用機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現X軸及Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構無摩擦、無后坐力。可選擇閉環版本定位精度高，是二維精密定位與掃描的理想選擇。

XP-611.XZ二維XZ向運動納米平移臺，產品體積小巧，結構緊湊，可通過與XP-611.Y(即XP-611.X)組合成三維平移臺，是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長度校準、顯微或掃描應用中的樣品定位等。XP-611.XZ為壓電驅動、無摩擦、柔性導向系統，實現納米級分辨率和毫秒的響應時間。

特性 XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm

• 二維XZ軸運動                   • 位移行程100μm                   • 小體積                   • 毫秒級響應速度                   •  納米級定位精度

高穩定性、高諧振頻率、體積小巧		傳感器類型	頻率負載曲線
XP-611系列壓電納米定位臺采用機構放大設計原理，體積小巧、結構緊湊，XP-611.XZ的尺寸僅為 35×35×34.5mm，易于與其他設備集成安裝。 該系列定位臺采用機構放大原理，位移可達 100μm，空載諧振頻率高、響應速度快，100μm的階躍時間為0.8ms，該系列產品以其高可靠性，高性價比等特點深得工業型用戶的青睞。